진공 펌프 선택 ---가이드

진공 펌프 선택 ---가이드

진공 펌프를 선택할 때 다음 사항에 주의해야 합니다.

1. 진공 펌프의 작동 압력은 진공 장비의 최종 진공 및 작동 압력 요구 사항을 충족해야 합니다. 예를 들어, 진공 코팅에는 110-5mmHg의 진공도가 필요하며 선택한 진공 펌프의 진공도는 최소 510-6mmHg가 되어야 합니다. 일반적으로 펌프의 진공도는 장비의 진공도보다 절반에서 한 자릿수 높은 수준으로 선택됩니다.

2. 진공 펌프의 작동 지점을 올바르게 선택하십시오. 각 펌프 유형에는 확산 펌프의 경우 10-3~10-7mmHg와 같은 특정 작동 압력 범위가 있습니다. 이러한 넓은 압력 범위 내에서 펌프의 펌핑 속도는 압력에 따라 달라지며 안정적인 작동 압력 범위는 510-4 ~510-6mmHg입니다. 따라서 펌프의 작동점은 이 범위 내에서 선택되어야 하며 장기간 10-8mmHg 이하에서 작동하는 것을 허용할 수 없습니다. 또 다른 예는 티타늄 승화 펌프가 10-2mmHg에서 작동할 수 있지만 작동 압력은 110-5mmHg보다 낮아야 한다는 것입니다.

3. 진공펌프는 진공설비 공정 중 발생하는 모든 가스를 작동압력 하에서 토출할 수 있어야 한다. 4. 진공 펌프를 올바르게 결합하십시오. 진공 펌프에는 선택적 펌핑 기능이 있기 때문에 때로는 한 가지 유형의 펌프가 펌핑 요구 사항을 충족할 수 없으며, 펌핑 요구 사항을 충족하려면 여러 펌프를 결합하여 서로 보완해야 합니다. 예를 들어, 티타늄 승화 펌프는 수소에 대한 펌핑 속도는 높지만 헬륨은 펌핑할 수 없는 반면, 삼중극자 스퍼터링 이온 펌프(또는 다이오드 비대칭 음극 스퍼터링 이온 펌프)는 아르곤에 대한 특정 펌핑 속도를 갖습니다. 결합하면 진공 장치는 더 나은 진공도를 얻을 수 있습니다. 또한 일부 진공 펌프는 대기압에서 작동할 수 없으며 사전 진공이 필요합니다. 일부 진공 펌프는 출구 압력이 대기압보다 낮고 배압 펌프가 필요하므로 펌프를 결합해야 합니다.

5. 진공 장비의 오일 오염 요구 사항. 장비에 오일 프리가 엄격히 요구되는 경우 워터 링 펌프, 분자체 흡착 펌프, 스퍼터링 이온 펌프, 극저온 펌프 등과 같은 다양한 오일 프리 펌프를 선택해야 합니다. 요구 사항이 엄격하지 않은 경우 다음을 선택할 수 있습니다. 오일 펌프를 갖추고 콜드 트랩, 배플, 오일 트랩 등을 추가하는 등 오일 오염 방지 조치를 추가하여 깨끗한 진공 요구 사항을 충족합니다.

6. 펌핑된 가스의 구성, 응축성 증기 포함 여부, 미립자 먼지가 있는지, 부식성인지 등을 이해하십시오. 진공 펌프를 선택할 때 가스 구성을 알고 해당 가스에 해당하는 펌프를 선택해야 합니다. 펌핑됩니다. 가스에 증기, 입자, 부식성 가스가 포함되어 있는 경우 펌프의 공기 흡입 파이프라인에 응축기, 집진기 등의 보조 장비 설치를 고려해야 합니다.

7. 진공펌프에서 배출되는 유증기는 환경에 어떤 영향을 미치나요? 환경이 오염을 허용하지 않는 경우 오일 프리 진공 펌프를 선택하거나 오일 증기를 야외에서 배출할 수 있습니다.

8. 작동 중 진공펌프에서 발생하는 진동이 공정이나 환경에 영향을 미치나요? 공정상 허용되지 않는 경우 진동이 없는 펌프를 선택하거나 진동 방지 조치를 취해야 합니다.

9. 진공펌프의 가격, 작동 및 유지관리 비용.